Forno di deposizione di vapore a vuoto
2200C Forno di deposizione a vapore a vuoto ad alta temperatura per rivestimento pirolitico di carbonio di dispositivi semiconduttori Forno CVD,
Caratteristiche principali:
Utilizzo di forno di deposizione di vapore: questo forno integrato di grafitezione di deposizione di vapore chimico può essere utilizzato per la deposizione di vapore chimico di materiali compositi con gas drocarbon UND (come C3H8),La produzione di graphene è caratterizzata da un aumento del consumo di carbonio (cfr. figura 1).
Finalità del forno di deposizione di vapore:
Questo forno integrato di grafitezione per deposizione chimica di vapore può essere utilizzato per la deposizione chimica di vapore di materiali compositi con gas drocarbonio UND (come C3H8, ecc.) come fonte di carbonio,come le malattie cardiovascolari, trattamento CVI di materiali compositi C/C, materiali compositi SiC, trattamento di carbonizzazione superficiale di parti di grafite e produzione di grafene.
Caratteristiche del forno di deposizione di vapore:
Il design multifunzionale ad alta temperatura può ottenere contemporaneamente deposizione chimica di vapore e trattamento di grafite.
La temperatura di funzionamento è alta fino a 2600, e può funzionare in modo stabile e affidabile per lungo tempo.
Il sistema di conversione automatica di misurazione della temperatura combinato con termocoppie e termometri a infrarossi può realizzare la visualizzazione e il controllo dell'intero intervallo di temperatura.
Il sistema di controllo della conversione di frequenza del riscaldamento per induzione che utilizza l'IGBT come dispositivo di alimentazione principale rende l'apparecchiatura a risparmio energetico e di energia,con componenti armonici di piccole dimensioni e senza interferenze con le apparecchiature esterne.
La precisa visualizzazione del flusso e il controllo del gas di entrata e di uscita garantiscono la stabilità del prodotto.
Si utilizza la camera di deposizione della struttura speciale, che ha un buon effetto di tenuta e una forte capacità antiinquinamento
Il percorso del gas di deposizione multicanale è utilizzato, il campo di flusso è uniforme, non vi è un angolo morto di deposizione e l'effetto di deposizione è buono;
Il sistema di filtrazione speciale è in grado di trattare efficacemente il catrame, le polveri solide, il gas organico, ecc. generati durante il processo di deposizione del carbonio;
Parametri tecnici del forno di deposizione di vapore:
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