| Dimensioni dell'area di lavoro (P*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Vuoto finale (Pa) | 1*10-4/1*10-3 | 1*10-4/1*10-3 | 1*10-4/1*10-3 |
| Temperatura massima (℃) | 2400/2500 | 2400/2500 | 2400/2500 |
| Uniformità della temperatura (℃) | ±7,5 | ±7,5 | ±10 |
| Tasso di aumento della pressione (Pa/h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 |